固定式三氟化氮檢測報(bào)警器是微電子等行業(yè)用來檢測環(huán)境中的三氟化氮?dú)怏w濃度的儀器，三氟化氮常溫下為無色氣體，不溶于水、是一種強(qiáng)氧化劑，在微電子行業(yè)中用作等離子蝕刻氣體，也可用作高能燃料。三氟化氮有毒，在使用時(shí)需要注意監(jiān)測環(huán)境中的三氟化氮濃度變化，一旦發(fā)生泄漏報(bào)警器能在第一時(shí)間發(fā)出報(bào)警信號。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

檢測氣體：三氟化氮NF3

產(chǎn)品型號：ERUN-PG51-NF3

分辨率：0.01ppm

檢測原理：電化學(xué)、催化燃燒、紅外等

檢測精度：≤±3%F.S；重復(fù)性：≤±2%

線性度：≤±2%；不確定性：≤±2%

響應(yīng)時(shí)間：T90≤20秒；恢復(fù)時(shí)間：≤30秒

信號輸出：總線制RS485信號，分線制4~20mA；選配：0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無線傳輸、網(wǎng)絡(luò)傳輸、短信報(bào)警

工作電壓：12~30VDC直流電，單臺(tái)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)電源為24V、1A或大于1A直流電

報(bào)警方式：默認(rèn)1路，可選2路無源接觸點(diǎn)（干節(jié)點(diǎn)）輸出，三級報(bào)警，報(bào)警點(diǎn)可設(shè)置現(xiàn)場聲光報(bào)警

防護(hù)等級：IP65防水防塵

防爆功能：ExdllCT6Gb；隔爆型

界面語言：默認(rèn)中文，中英文可選

顯示屏：1.7高清彩屏

顯示方式：單通道顯示

安裝方式：管道式、壁掛式

工作方式：在線擴(kuò)散式/管道式檢測。選配：泵吸式/流通式

報(bào)警模式：低報(bào)警、高報(bào)警、區(qū)間報(bào)警

校準(zhǔn)功能：零點(diǎn)自動(dòng)跟蹤、目標(biāo)點(diǎn)多級校準(zhǔn)

誤操作識別：自動(dòng)識別并阻止

數(shù)據(jù)恢復(fù)：全部恢復(fù)，選擇性恢復(fù)（濃度、報(bào)警、全部）

日志記錄：校準(zhǔn)日志、維修日志、故障記錄、故障解決對策

工作環(huán)境：溫度-40℃~+70℃、濕度0-99%RH

重量：1.5KG

預(yù)處理（選配）：常溫高濕預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕度預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕高粉塵預(yù)處理系統(tǒng)

此款儀器采用固定安裝的方式、通過傳感器將氣體濃度信號轉(zhuǎn)化為電信號，內(nèi)部傳感器采用國際進(jìn)口品牌，響應(yīng)速度快、檢測結(jié)果準(zhǔn)確、壽命長、性能穩(wěn)定。高清彩色顯示屏，能夠清晰準(zhǔn)確顯示濃度、時(shí)間等參數(shù)。

三氟化氮會(huì)屬低毒物質(zhì)，對眼睛、皮膚、黏膜等都有刺激性，吸入高濃度的三氟化氮會(huì)引起頭痛、嘔吐或者腹瀉、長期吸入低濃度的三氟化氮還會(huì)損傷牙齒和骨骼。危險(xiǎn)性比較強(qiáng)，在三氟化氮的存儲(chǔ)庫房、使用和生產(chǎn)車間可使用固定式三氟化氮檢測報(bào)警器來監(jiān)測濃度變化。